Semiconductor
Equipment
半導体装置事業
ウエハーの加工プロセスに欠かせない
洗浄装置、薬液の供給・廃液装置を
提供しています。
クリーン度が求められる半導体装置を対象に、設計から製造、組立・設置調整まで一貫対応。1500㎡規模のクリーンルームを活用し、自動車分野で培った精密加工技術や品質管理力を応用しています。
半導体装置事業を企業の成長を支える新たな柱として、高い付加価値を持つ製品・サービスの提供に努めてまいります。
本半導体装置事業は、池田製作所のセミコンダクターエンジニアリング部門とグループ企業ギガテックで一貫生産展開を進めています。
当社の技術について
お客様のニーズに合わせた
自在な装置カスタマイズができる設計技術
お客様ごとのプロセス条件や工場レイアウトに応じ、装置構成や機能を柔軟に設計。要求仕様を的確に反映し、量産性とメンテナンス性を両立した最適な装置を提供します。
微細パーティクル除去を実現する
洗浄槽・薬液循環系の流体制御技術
微細パーティクルの再付着を防ぐため、洗浄槽内の流れや薬液循環を最適化。流体挙動を精密に制御し、安定した洗浄性能と高い歩留まりを実現します。
ウエハーへのダメージを最小化する
搬送・バスケット機構の精密機構設計
ウエハーへの衝撃や摩耗を抑える精密機構を設計。搬送時の姿勢保持や接触荷重を最小化し、高品質なプロセスを支える安定したハンドリングを実現しています。
高精度な
プロセス制御技術
薬液の濃度・温度・流量を精密に管理し、再現性の高いプロセス制御で品質の安定化を実現します。
高耐薬性・高耐久性に
優れた材料選定と製造技術
強薬液環境下でも長期使用に耐える材料を厳選し、高耐薬性・高耐久性を備えた装置を実現します。
電解・無電解メッキ技術
を有する装置対応
電解・無電解メッキの両工程に対応し、均一な処理品質と安定した生産を支える装置設計を行います。
シリコン太陽電池の
ウェット加工技術
シリコン太陽電池向けに培った洗浄・エッチング技術を活かし、高効率化と量産性に貢献します。
品質保証
- 厳格な基準に基づく品質管理
- ISO9001準拠の品質管理プロセス
- 高精度な設備による安定した加工品質
- 顧客要求に応じた柔軟な品質保証体制
- 納期遵守・安定供給の運用能力
主な取扱製品
ウエハー、FPD（フラットパネルディスプレイ）、太陽電池
洗浄装置（枚葉式）
エッチング装置
薬液供給装置
廃液処理装置
クリーンルームの紹介
新田クリーンルーム（CR1）
【面積】1,041㎡（CR1面積：402㎡、CR2面積：511㎡、加工室面積：128㎡）
【清浄度（管理値）】CR1：Class 10,000(ISO:Class7)、CR2：Class 10,000-100,000(ISO:Class8)
新田クリーンルーム（CR2）
【面積】1,041㎡（CR1面積：402㎡、CR2面積：511㎡、加工室面積：128㎡）
【清浄度（管理値）】CR1：Class 10,000(ISO:Class7)、CR2：Class 10,000-100,000(ISO:Class8)
尾島クリーンルーム
【面積】481㎡（CR面積：377㎡、加工室面積：104㎡）
【清浄度（管理値）】CR：Class 10,000(ISO:Class7)、前室：Class 100,000(ISO:Class8)
クリーンルームの特徴
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クリーンルーム３室（合計1500㎡、高さ4m） 12インチウエハ用の大型装置にも対応
十分な作業空間と高い清浄度を両立し、
装置規模や工程特性に応じた柔軟で安定した生産体制を構築しています。 -
クリーン度設計値：Class10,000（ISO Class7)
実測値：300〜1,000未満の高水準環境を維持。
半導体装置の組立・調整において求められる高レベルのクリーン環境を提供しています。 -
組立作業に必要な輝度（750ルクス）の照明
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静電対応を目的とした導電性床の完備
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パーティクル常時監視システムを導入
加工設備紹介
純水精製機
横切り盤
パネルソー
ボール盤
PVC溶接機
糸のこ盤
製品事例
半導体メーカー・ファウンドリ向けに、
ウエハ洗浄機、薬液供給・廃液処理装置などを
搬入しています。
最先端デバイスを製造する
大手半導体メーカー様・ファウンドリ向け
当社クリーンルームで組立・調整を行ったバッチ式ウエハ洗浄装置、薬液供給ユニットおよび廃液処理システムを提供。
保有資格
- 国家技能検定 半導体製品製造 特級1名
- 国家技能検定 機械保全技能士 特級1名
- 国家技能検定 半導体製品製造技能士
集積回路チップ作業 1級2名 - 国家技能検定 半導体製品製造技能士
集積回路チップ作業 2級4名 - 国家技能検定 機械保全技能士 1級2名
- 国家技能検定 機械保全技能士 2級3名